智能碳化硅清洗設備

智能碳化硅清洗設備生產(chǎn)線為： 晶舟上貨，將晶舟置于上貨區(qū)位置，按下啟動鍵，將自動以夾持方式移至制程槽進行預設之制程，完成設備本身設定之流程，達成一貫性自動控制的功能。本設備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長；及背部設有吸風口，為防止污染空氣，用戶需外接風管抽風。本機臺是IPC工業(yè)電腦加PLC控制的全自動控制系統(tǒng)。

智能碳化硅清洗設備特點：

溢流工藝的應用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；

優(yōu)化配管設置，節(jié)約DIW消耗量；

工藝柔性化設計，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲；

整機在使用、運行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；

智能碳化硅清洗設備PLC控制，IPC顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護及超(兆)聲低液位保護；

全封閉設計。設備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便；

耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；

設有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設備兩端各一個），并按照標準設置接地保護斷路器；

智能碳化硅清洗設備前后區(qū)隔離，底板傾斜設計，便于排液，低處設有漏液報警，前后區(qū)域均設水槍，確保漏液及時沖洗；

清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設計，防止溶劑混用；

設計合理化的排風管路，使有機液揮發(fā)氣體的污染小化；

內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設備內(nèi)部；

廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放；

智能碳化硅清洗設備內(nèi)廢氣總管路可用維護區(qū)水槍清洗，清洗廢液流入有機、酸堿廢液總管；

工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現(xiàn)，至少需要三面溢流；

后方、左右兩側(cè)需留有方便維護、維修的窗口；

機臺排風口處安裝排風壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；

智能碳化硅清洗設備總進口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；

工藝槽槽體傾斜式，便于排空；

電器部分具備正壓N2保護，防止腐蝕；

溢流：IDLE TIME＞SET TIME，溢流停止，達到節(jié)能目的；

智能碳化硅清洗設備廢液排放，每個工藝槽采用獨立排放管道，對應QDR也采用獨立排放口；

排風，工藝腔內(nèi)每個工藝槽對應位置都有可調(diào)節(jié)的柵格排風結(jié)構(gòu)；

換液提醒功能，所有制程能根據(jù)配液時間或運行批次數(shù)量通知換酸；

工藝結(jié)束可以設置預先報警功能，預報警聲音和實際報警聲音要有所區(qū)分；

智能碳化硅清洗設備工藝說明: 自動傳動，自動方式實現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進行作業(yè)，這個過程全自動進行；

全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預，保證產(chǎn)品性能的一致性；

機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩(wěn)；

智能碳化硅清洗設備機械手臂單獨急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全；

機械手臂設有防夾防撞預警裝置（光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等），以保護操作人員安全；

上下料方向：左進右出，花籃水平放置；

顆粒指標，尺寸大于XX μm的顆粒，密度不超過XX個/cm2；

智能碳化硅清洗設備目前金屬離子殘留測試，包括XX種元素：每一種金屬元素殘留指標均要求